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美國Angstrom Sciences 圓形磁控管陰極

簡要描述:美國Angstrom Sciences 圓形磁控管陰極
聯(lián)系張經(jīng)理:I8721868549

  • 產(chǎn)品型號:Circular Magnetron
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時間:2024-09-08
  • 訪  問  量:193
產(chǎn)品分類PRODUCT

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美國Angstrom Sciences 圓形磁控管陰極

只要在結(jié)構(gòu)中納入特定的設(shè)計標準,Angstrom Sciences 高功率射頻圓形磁控管就可以在研發(fā)和生產(chǎn)應用中成功實施。
Angstrom Sciences 高功率射頻圓形磁控管可直接冷卻,外徑為2英寸-8英寸。

因為射頻功率在高頻下工作,所以磁控濺射陰極的設(shè)計必須能夠控制這種功率。Angstrom Sciences的高功率射頻磁控管設(shè)計用于在目標表面均勻地傳遞射頻能量,同時提供低反射功率和射頻限制。
高功率射頻磁控管有圓形和線性兩種配置。

美國Angstrom Sciences 圓形磁控管陰極

間接冷卻磁控管

間接冷卻磁控管在圓陰極的冷卻水和濺射靶材之間包含一個中間壁。該壁形成水真空密封,防止目標被“濺射"時可能發(fā)生的泄漏。

Angstrom Sciences 的 1“- 4" (25mm-100mm) 間接冷卻圓形磁控管包含一個螺紋靶夾和陽極屏蔽罩,可根據(jù)不同厚度的濺射靶材進行調(diào)整。螺紋設(shè)計上的目標更改既快速又簡單,不需要輔助工具或設(shè)備。

  • 描述

此外,螺紋靶夾和陽極屏蔽層可形成一個緊湊的圓形磁控管頭。這使得 Angstrom Sciences 的圓形磁控管能夠安裝在狹窄的真空室中,并且與傳統(tǒng)磁控管的表面積相比,可以濺射更大的襯底。

間接冷卻磁控管推薦用于低功率應用,是研究和開發(fā)應用的理想工具。



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